:介绍了六自由度离子束抛光机床控制系统的总体构架。重点对控制系统研制过程中的关键问
题进行探讨,包括特殊真空环境下的驱动控制措施、高真空抽取及稳定性控制方法以及离子源参数
的稳定性控制策略
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