精密机器精密仪器

那些高精度要求的精密产品是用精密设备制造的，而那些精密设备又是用什么制造的？？

举个栗子，
IC,CPU芯片是精密产品，是用光刻机之类的精密仪器制造的。
那么，问题来了：
用什么东西来制造光刻机，才能达到那个精度呢？？
人类史上又有哪些令人不明觉厉的极限精度制造成果？？

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秦始皇陵铜车

1980年出土于中国陕西临潼秦始皇陵坟丘西侧。共两乘，一前一后排列。经复原，大小约为真人真马的二分之一。制作年代约在陵墓兴建时期，即公元前221～前210年间。

铜车马在制作上运用了铸造、焊接、镶嵌、粘接以及子母扣、纽环扣、锥度配合、销钉连接等各种工艺。钻孔的最小直径为1毫米，饰件多处用如发丝的铜丝，窗板的铜片仅厚至0.12到0.2厘米，车辆头的内孔滚圆，就象车床加工的一般。铜车马的许多零件都与现代使用的相似，如车门、前窗用的活动铰页，其形状与今日门窗上使用的活页非常相似；系马肚子、马颈的套环采用了策扣连接，策扣与今日人们用的腰皮带上的策扣完全相同。