：为提高步进扫描式光刻机的生产效率，提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶s曲线。在最大扫描速度恒定的前提下，以最小时间和冲击为优化指标，设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数，可以根据加速时间和执行电机进行调整，在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明，相对于数值方法设计的S曲线，优化s曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。：




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